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激光剥离设备国产化:柔性屏制造的关键一跃​

技术突破:从依赖进口到自主可控

在柔性OLED面板制造过程中,激光剥离(LLO)是决定屏幕可折叠性的核心工艺之一。长期以来,这一关键设备市场被日本滨松、韩国EO Technics等国际巨头垄断,单台设备售价高达1.2亿元人民币。华工科技最新发布的国产LLO设备采用355nm紫外激光器,创新性地引入"光束整形+动态聚焦"技术,将激光能量密度波动控制在±2%以内,剥离精度达到±5μm,完全满足高端柔性屏的制造需求。

工艺创新:突破良率瓶颈

该设备最大的技术突破在于其专利保护膜设计,能够承受1000℃/s的瞬时温差,使PI基板剥离厚度差异小于0.3μm。同时,设备集成16个高精度CCD相机组成的视觉定位系统,配合AI算法实时补偿基板形变,将良率从进口设备的95%提升至99.5%。天马武汉产线的实测数据显示,采用国产设备后,单条产线年产能提升20万片,设备综合稼动率达到95%以上。

成本优势:推动产业链降本增效

国产设备的商业化应用带来显著的经济效益。对比进口设备,国产LLO单台采购成本从1.2亿元降至6800万元,降幅达43%。在耗材方面,国产保护膜价格仅为进口产品的40%,每年可为面板厂节省超2000万元运营成本。据行业测算,全面采用国产LLO设备后,6代柔性OLED面板的制造成本有望下降15%-20%。

全球竞争格局重塑

面对中国企业的快速崛起,日本滨松近期推出新一代LLO设备,虽然处理速度提升至1500mm/s,但价格高出国产设备45%。华工科技正在研发的CO₂激光剥离技术,预计2025年量产,届时处理速度将突破1800mm/s,实现全面技术反超。目前,京东方、维信诺等面板大厂已启动国产LLO设备的采购计划,预计2024年国内市场规模将突破20亿元。

未来展望

随着折叠屏手机、卷轴屏等创新产品的普及,全球柔性OLED产能将持续扩张。国产LLO设备的突破不仅解决了"卡脖子"问题,更使中国在柔性显示装备领域获得重要话语权。下一步,设备厂商将重点攻关8.6代线用大尺寸LLO设备,以满足车载显示等新兴市场的需求,推动中国显示产业向价值链高端迈进。


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