Micro LED作为下一代显示技术的核心方向,其产业化进程一直受制于制造设备的瓶颈。厦门天马联合设备商打造的全球首条全自动化Micro LED试验线正式投产,标志着中国在新型显示领域取得重大突破。这条总投资35亿元的试验线,整合了从外延片到模组的完整产业链,预计年产能达50万片(以1.5英寸计算),为行业提供了可复制的量产解决方案。
该试验线实现了三大关键突破:
巨量转移技术:采用激光诱导转移(LIFT)与静电吸附结合的复合工艺,转移精度达到±0.8μm,每小时可处理200万颗芯片,良率突破99.9%。创新性地开发了动态对准系统,通过16组高精度CCD实时补偿基板形变。
全自动化整合:产线包含12类核心设备,实现从激光剥离、巨量转移到检测修复的全流程自动化。其中,自主研发的AOI检测系统可在0.5秒内完成1英寸模组的全幅扫描,缺陷识别精度达1μm。
驱动架构创新:采用主动式TFT背板与Micro LED直接键合技术,开发了10bit PWM驱动IC,实现100万:1的对比度和150% NTSC色域。
试验线汇聚了23家国内设备材料厂商:
对比国际竞争对手:
厦门天马表示,这条试验线的投产使中国Micro LED产业化进程较预期提前2年,预计到2026年将带动上下游形成千亿级产业规模。这不仅巩固了中国在新型显示领域的技术领先地位,更为全球Micro LED产业链发展提供了"中国方案"。